ETF好壞的指標之一是指數追蹤能力，兩項評估指標為追蹤偏離度（tracking difference）與追蹤誤差（tracking error）。
ETF追蹤偏離度（tracking difference）
追蹤偏離度指的是，在相同的投資期間內，ETF報酬與其追蹤指標報酬的差異，也就是我們很直覺計算標的指數報酬與ETF報酬之間的差額。
ETF追蹤誤差（tracking error）
追蹤誤差則是反映在投資期間，一檔ETF走勢與其基準指數的相近程度，是相對報酬的標準差，在計算上必須先算出追蹤偏離度（tracking difference），再利用標準差的概念計算追蹤誤差（tracking error）。
如果指數報酬是5.72%（範例），那麼ETF的報酬最好也是5.72%（範例），但通常ETF的實質報酬可能是5.68%（範例），存在0.04%的追蹤偏離度。
ETF的目的在於透過追蹤標的指數幫投資人拿到貼近指數的報酬，如果指數追蹤能力不佳，會造成該拿到卻拿不到的後果，如果每年落後1%、2%，那麼長期下來也相當於投資高成本的ETF，不可不注意。